BS DD ISO/TR 15969-2001 表面化学分析.深度剖面.溅蚀深度的测量

作者:标准资料网 时间:2024-05-11 21:35:02  浏览:9701   来源:标准资料网

【英文标准名称】:Surfacechemicalanalysis-Depthprofiling-Measurementofsputtereddepth
【原文标准名称】:表面化学分析.深度剖面.溅蚀深度的测量
【标准号】:BSDDISO/TR15969-2001
【标准状态】:现行
【国别】:英国
【发布日期】:2001-10-01
【实施或试行日期】:2001-10-01
【发布单位】:英国标准学会(GB-BSI)
【起草单位】:BSI
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:深度测量;化学分析和试验;含量测定;精整;定义
【英文主题词】:Chemicalanalysisandtesting;Definition;Definitions;Depthmeasurement;Determinationofcontent;Finishes
【摘要】:ThisTechnicalReportgivesguidelinesformeasuringthesputtereddepthinsputtereddepthprofiling.ThemethodsofsputtereddepthmeasurementdescribedinthisTechnicalReportareapplicabletotechniquesofsurfacechemicalanalysiswhenusedincombinationwithionbombardmentfortheremovalofapartofasolidsampletoatypicalsputtereddepthofuptoseveralmicrometres.
【中国标准分类号】:G04
【国际标准分类号】:17_040_20;71_040_40
【页数】:22P.;A4
【正文语种】:英语