ASTM E 1162-2006 报告次级离子质谱法(SIMS)中溅射深度截面数据的标准实施规程

作者:标准资料网时间:2024-05-14 17:47:48 浏览:8723 来源:标准资料网

【英文标准名称】:StandardPracticeforReportingSputterDepthProfileDatainSecondaryIonMassSpectrometry(SIMS)
【原文标准名称】:报告次级离子质谱法(SIMS)中溅射深度截面数据的标准实施规程
【标准号】:ASTME1162-2006
【标准状态】:现行
【国别】:美国
【发布日期】:2006
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(ASTM)
【起草单位】:ASTM
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:数据;深度;深度测量;精整;质谱学;金属;工艺;截面;频谱测定法;表面
【英文主题词】:Data;Depth;Depthmeasurement;Finishes;Massspectrometry;Metals;Processes;Profile;Spectrometry;Surfaces
【摘要】:
【中国标准分类号】:A43
【国际标准分类号】:71_040_50
【页数】:3P;A4
【正文语种】:英语

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